等离子增强型化学气相沉积成膜仪
· 2024-05-09
| 等离子增强型化学气相沉积成膜仪 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2024年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 等离子增强型化学气相沉积成膜仪 |
| 预算金额： | 400.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02050904增材制造设备 |
| 采购需求概况： | 等离子增强型化学气相沉积成膜仪，1台，能提供从数十纳米至数微米的稳定氧化物或氮化物成膜能力，并且可以对衬底复合材料提供隔绝性的惰性保护，或附加致密的多微孔过渡介质层结构。能够处理晶圆尺寸不小于8英寸氧化物、氮化物和非晶硅的高密度薄膜沉积，工艺气路不少于6路；均匀性：8英寸范围内±2%；下电极加热温度可以达到400°C，腔室温度到达80°C，最大限度地减少腔壁沉积；真空室整体漏率优于1 mTorr/min。具体要求详见采购文件。供货期：签订合同之日起，8个月货到指定地点并安装验收完毕。（包括供货、安装、调试、验收合格所需时间）。具体事宜由成交供货商按照采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
| 预计采购时间： | 2024-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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